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LDI曝光机

2020-12-21 02:32

设备名称:LDI曝光机

设备品牌:源卓

设备产能:8500m²/月

设备工艺:线宽精度±5um,层间对位精度±20um,外层对位精度±10um,解析度60um,曝光均匀性≥95%,自动涨缩管控

设备优势:提高精细线路的制作能力,减少生产报废,同时提升生产效率。

 

               

 

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